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大突破!上海精测向头部晶圆厂交付两款自创检测设备

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发表于 2021-7-14 15:10:11 | 显示全部楼层 |阅读模式
  7月13日下午,烈日炎炎。在上海青浦举行的一场简陋的出机仪式,却刻下了中国半导体设备自主创新的一个重要里程碑。
  图说:出机仪式现场
  这一天,上海精测向国内最领先的晶圆厂中芯国际(北京)交付了两款前道量测检测设备,该设备从零部件到整机设计制造,均具有完全自主知识产权。
  这是上海精测的重要突破,也是中国半导体高端设备国产化的重要突破。
  整机、核心零部件完全自主研发
  7月13日,精测电子控股子公司上海精测在上海举行了庆祝“上海精测半导体国内首台OCD量测设备与晶圆缺陷复查设备出机中芯国际”的仪式。
  上海精测本次交付的设备有多先进?又先进在哪里?
  上海证券报记者现场采访获悉,上海精测本次交付的光学线宽测量机台(OCD)、晶圆缺陷复查设备(review SEM)均为12英寸设备,将用于中芯国际(北京)12英寸生产线。尤为难得的是,公司上述2款设备均实现了整机、大部分核心零部件的完全自主研发。
  在庆祝仪式上,精测电子副总经理、上海精测总经理马骏介绍,OCD量测设备的市场一直为美资公司垄断,公司本次出货机台名称为300FD Profile,是该类型机台的国内首台,主要应用于55nm及以下的快速线宽测量。该机台配置了完全自主知识产权的旗舰级椭圆偏振仪、数百核的高速建模运算服务器,以及自主开发的OCD建模与库匹配算法软件Jprofile3.0,可为国内高节点产线提供稳定、实时、高速的量测解决方案。是真正意义上的高端国产化机台。
  本次出厂的晶圆缺陷复查设备(review SEM)则是上海精测的另外一项主力产品,也使得公司成为目前全球成功开发该设备的唯一非美系厂商。
  马骏介绍,从电子束聚焦、信号接收与传输、小信号放大等,公司完全自研了该设备的核心部件,并用近2年时间打通了电子枪以及磁物镜内核心零件加工环节。
  “填补了国内半导体产业链在该领域的空白。”对于上海精测本次交付的OCD、review SEM机台,中芯国际(北京)良率提升工程部总监翟冬梅在现场表示,这是上海精测承接北方集成电路创新中心多元化项目以来,首批交付的设备,是具有里程碑意义的时刻。
  翟冬梅介绍,北方集成电路创新中心成立于2017年,是中芯国际的全资子公司,是中芯国际承担设备、材料、工艺验证的平台,将继续致力于帮助国内厂商加快技术验证和经验积累。
  上证报记者了解到,本次上海精测出厂的2号机还增加了基于深度学习的智能化自动缺陷检测与分类算法,可进一步帮助客户提升缺陷的分析效率,并显著提升设备的便捷性。
  赛道宽广,潜在市场大
  前道检测设备事关芯片良率,属于芯片前道制程的关键设备。
  公开资料显示,2020年前道检测设备全球市场规模约69亿美元。其中,前五大设备为图形检测、掩膜版量测、膜厚检测、电子束检测、OCD检测,占比分别为32%、15%、12%、11%、10%。
  据悉,在半导体检测设备领域,以 KLA(科磊)为首,AMAT(应用材料)、Hitachi(日立)等海外巨头合计占据了超过90%的市场份额。
  记者了解到,在前道检测设备领域,精测电子已经布局了膜厚检测设备、OCD检测设备、晶圆缺陷复查设备(review SEM)等三个赛道,并成功卡位,累计出货设备几十台。
  成功来之不易,未来仍需努力。
  据马骏介绍,过去3年,上海精测主要精力用在解决设备开发中的技术问题,同时着力在各类前道装备通过一线厂商的技术与量产能力验证。明年起,随着各类设备验证通过,产能放量后的生产以及各个客户端的技术支持问题,将与公司有限的产能、精力,产生日益突出的矛盾。
  不过上海精测早就未雨绸缪。2019年10月,上海精测宣布在青浦区赵巷镇建设全球研发中心与生产基地,意在解决半导体产能不足问题。据悉,在各方支持下,该基地的建设进度始终正常进行,预计明年上半年可建成并全面投入使用。
  值得一提的是,上海精测的精进,与超级资本——国家大基金的加持不无关系。
  据精测电子2019年公告,子公司上海精测获多名股东增资入股,注册资本由1亿元增加至6.5亿元。其中,上海精圆和大基金各出资1亿元,上海半导体及上海青浦各出资5000万元。
  据精测电子7月13日晚披露,当日,包括华泰柏瑞、兴全基金等十多家机构共29名机构投资代表对上海精测进行了实地调研。调研内容与此次出机仪式所谈大致相同。
  其中被问半导体板块2021年能否扭亏时,公司接待人员表示,半导体研发投入巨大,验证周期长,公司预计2021年在半导体的部分产品线实现扭亏,但整体半导体业务实现盈利仍需要更多时间和努力。
  再回看精测电子,除了子公司上海精测在半导体设备获得重要突破外,公司其他检测业务也屡有斩获,其中在新能源电池领域初露峥嵘,显示出极大的爆发力。据悉,在新能源领域的主营产品包括锂电池和燃料电池检测设备等。
  成为“半导体、显示、新能源行业以测试设备为核心的综合服务提供商”,是精测电子的愿景。在OCD、review SEM机台交付中芯国际的这一刻,公司离实现愿景更近了一步。
(文章来源:上海证券报)
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发表于 2021-7-15 10:45:34 | 显示全部楼层
这是什么东东啊
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发表于 2021-7-15 22:40:22 | 显示全部楼层
这么强,支持楼主,佩服
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发表于 2021-7-16 17:57:59 | 显示全部楼层
我是个凑数的。。。
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发表于 7 天前 | 显示全部楼层
有竞争才有进步嘛
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发表于 7 天前 | 显示全部楼层
路过。支持围观。。。
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发表于 6 天前 | 显示全部楼层
不知该说些什么。。。。。。就是谢谢
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发表于 6 天前 | 显示全部楼层
支持你哈...................................
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发表于 6 天前 | 显示全部楼层
学习了,不错,讲的太有道理了
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发表于 5 天前 | 显示全部楼层
一直在看
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